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淨化車間濕度過過高造成什麽問題

文章作者:淨化車間 發布時間:2020-04-16 11:30:06 瀏覽次數:0
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  淨化車間溫度和濕度的項目關鍵是依據加工工藝規定來明確的,也要充分考慮人的舒適度。隨之氣體潔淨度等級規定的提升,早已對溫度濕度規定的全過程愈來愈嚴苛的發展趨勢。

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  有關溫度規定的實際全過程這兒也不詳解,但做為一般標準,因為淨化車間很多的精密機械加工,因此溫度起伏範疇的規定愈來愈小。比如,在用以規模性集成電路芯片生產製造的光刻曝出加工工藝中,做為夾層玻璃和掩模原材料的矽芯片中間的線膨脹係數的差別變得更加小。150毫米直徑的矽芯片,溫度上升1度,它造成的線形澎漲為0.24毫米,因而務必有±0.5度勻速運動的溫度,而環境濕度值通常較低,這由於人出汗後產品會被環境汙染,非常是擔心鈉的半導體材料生產車間,這類無塵淨化車間工作不可超出20度。

淨化車間

  高環境濕度會造成許多難題。假如空氣濕度超出60%,則冷卻循環水的壁厚上麵產生冷疑狀況。假如產生在高精密機器設備或是是電源電路中,將會會產生各種各樣安全事故。空氣濕度在60%時非常容易鏽蝕。此外,無塵淨化車間工作中環境濕度過過高根據氣體中的氧分子把矽片表層的粘附的塵土有機化學吸咐在表層而無法除去。空氣濕度越高,黏附越難除掉,殊不知當空氣濕度低於40%時,因為靜電力的功效,顆粒物也非常容易被吸咐在表麵上,很多集成電路工藝非常容易裂開。


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